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在真空PVD陽極氧化加工表面上進(jìn)行清洗處理十分重要，它直接影響產(chǎn)品的質(zhì)量。加工零件進(jìn)入陽極氧化車間前，必須對其進(jìn)行認(rèn)真的鍍前清潔處理，表面污染來自工件在加工、輸送、包裝過程中粘附的各種塵埃、潤滑油、機(jī)油、拋光膏、油脂、汗?jié)n等物質(zhì)，為避免加工過程中出現(xiàn)不良現(xiàn)象，真空鍍加工廠家基本上可以采用去油或化學(xué)清洗的方法去除。

對于經(jīng)清洗處理的清潔表面，不能存放在大氣環(huán)境中，應(yīng)存放在密閉容器或清潔柜內(nèi)，以減少灰塵污染。在剛氧化的鋁容器中儲存玻璃襯底，可以將烴類蒸汽的吸附降到低程度。由于這些容器對烴類的吸附優(yōu)先。對高度不穩(wěn)定、對水汽敏感的表面進(jìn)行真空陽極氧化處理，一般應(yīng)保存在真空干燥箱中。

采用真空PVD處理陽極氧化工藝可清除陽極氧化室內(nèi)灰塵，并設(shè)置潔凈度高的工作間，保持室內(nèi)高度清潔是陽極氧化工藝環(huán)境的基本要求。在空氣濕度大的地區(qū)，除鍍前對底板、真空室各部分進(jìn)行仔細(xì)清洗外，還應(yīng)進(jìn)行烘烤除氣。為了防止油液進(jìn)入真空室內(nèi)，注意油液擴(kuò)散泵的回流，對于高熱功率的擴(kuò)散泵應(yīng)采取防油措施。